Рекомбинационно-стимулированные процессы взаимодействия междоузельных дефектов в кремнии, облученном альфа-частицами

Abstract

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS) проведено сравнительное изучение влияния инжекции электронов на отжиг двух боросодержащих радиационных дефектов – междоузельного атома бора (Bi) и комплекса междоузельный бор – междоузельный кислород (BiOi). Определены параметры инжекционного отжига: плотности тока, необходимые для исчезновения дефектов при различных температурах, и энергии активации рекомбинационно-стимулированного отжига. Показано, что, несмотря на различие в количественных характеристиках, имеет место качественно одинаковое поведение обоих центров при инжекционном отжиге. Предполагается, что качественные характеристики определяются тем фактом, что оба дефекта Bi и BiOi имеют инверсный порядок следования уровней заполнения.