Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233829
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorSaladukhin, I. A.
dc.contributor.authorAbadias, G.
dc.contributor.authorZlotski, S. V.
dc.contributor.authorMalashevich, A. A.
dc.date.accessioned2019-11-13T10:39:25Z-
dc.date.available2019-11-13T10:39:25Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 435-437.
dc.identifier.issn2663-9939
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/233829-
dc.descriptionСекция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation Influence on Coatings Structure and Properties
dc.description.abstractIn the present work the phase composition stability and oxidation resistance of ~300 nm thick ZrN/SiNx nanoscale multilayers at the air annealing procedure were studied. Coatings were prepared by reactive magnetron sputter-deposition on Si wafers under Ar+N2 plasma discharges. ZrN/SiNx multilayers with ZrN and SiNx layer thickness varying from 2 to 10 nm were synthesized by sequential sputtering from elemental Zr and Si3N4 targets at T dep =300 °C. According to X-ray diffraction (XRD) analysis the multilayered films consist of nanocrystalline (002)-oriented ZrN and amorphous SiNx layers. The oxidation resistance under air was studied using in situ XRD in the temperature range from 400 to 950 °C, as well as by scanning electron microscopy (SEM) and wavelength dispersive X-ray spectrometry (WDS) after air annealing procedure. While the reference ZrN film starts to oxidize at Tox. = 550 °C, a much higher oxidation resistance is found for multilayered films, till Tox. = 860–950 °C for ZrN/SiNx coatings with the elementary layer thickness ratio of 5 nm/10 nm and 2 nm/5 nm.
dc.language.isoen
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titlePhase Composition Stability of ZrN/SiNх Multilayered Coatings under Air Annealing: the Role of the Thicknesses Ratio of the Elementary Layers
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
435-437.pdf462,25 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.