Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233824
Title: Динамика отражательной способности и модификация тонких пленок TiAlN/Si при импульсном лазерном нагреве
Other Titles: Reflectivity Dynamics and Modification of TiAlN/Si Thin Films Under Pulsed Laser Heating / G.D. Ivlev, V.A. Zaikov, I.M. Klimovich, O.R. Liudchik
Authors: Ивлев, Г. Д.
Зайков, В. А.
Климович, И. М.
Людчик, О. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2019
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 60-63.
Abstract: Тонкие пленки TiAlN (0.5 мкм), сформированные на подложках кремния методом магнетронного распыления составной мишени, облучались одиночными наносекундными (70 нс) импульсами рубинового лазера с целью изучения динамики отражательной способности R облучаемой зоны на длинах волн зондирующего излучения λ 1 = 0.53 и λ 2 = 1.06 мкм и морфологии облученных зон. Наблюдается возрастание R на λ 1 и одновременное уменьшение на λ 2 с усилением эффекта по мере повышения плотности энергии облучения W в интервале 0.6-0.9 Дж/см 2 , ограниченном сверху порогом лазерной абляции нитрида ~ 1 Дж/см 2 . Лазерно-индуцированные термические напряжения в модифицируемом слое TiAlN приводят к образованию в нем сетки трещин. При повышении W формируется более развитой сетчатая/ячеистая структуры пленки с меньшим средним размером ячеек.
Abstract (in another language): TiAlN thin films (0.5 μm) on silicon substrates have been prepared by magnetron sputtering of a composite target and were irradiated by single nanosecond (70 ns) ruby laser pulses in order to study the dynamics reflectivity R of the laser-irradiated zone at the wave-lengths λ 1 = 0.53 and λ 2 = 1.06 μm of probing radiation and morphology of the irradiated zones. It is observed a R increase at λ 1 with simultaneous decrease at λ 2 with the intencification of this effect as far as the irradiation energy density W grows in the range at 0.6 to 0.9 J/cm 2 an limited by the upper level at ~ 1 J/cm 2 for the laser nitride ablation threshold. Laser- initiated thermal stresses in the modified TiAlN layer evoke the formation of cracks net inside it/ It is formed a more extended cell/net structure of the film with smaller average size of cells at the W increase.
Description: Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of Radiation and Plasma Interaction with Solids
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/233824
ISSN: 2663-9939
Appears in Collections:2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
60-63.pdf1,28 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.