Разработка источника питания высокочастотного магнетронного распылителя

Abstract

В данной работе рассмотрены высокочастотные газовые разряды в магнитном поле, в соответствии с теорией высокочастотных разрядов [1] определены диапазоны частот, в которых плазма имеет активное, индуктивное и ёмкостное сопротивление. Разработаны задающий генератор высокочастотных сигналов и ламповый усилитель мощности, которые могут быть использованы в источниках питания высокочастотных устройств магнетронного распыления [2]. В настоящее время для передачи сигналов и согласования с КВ трансиверами используются ламповые усилители, которые, как правило, имеют большую мощность раскачки (40–100 Вт). Созданный в данной работе усилитель раскачивается маломощным задающим генератором, имеет небольшую мощность раскачки и простую конструкцию.