Поиск
Добавить фильтры:
Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.
Результаты 1-1 из 1.
- назад
- 1
- далее
Найденные документы:
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |