Просмотр "2019, №2" Авторы Углов, В. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2019 | Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx , сформированных методом реактивного магнетронного осаждения | Углов, В. В.; Злоцкий, С. В.; Солодухин, И. А.; Малашевич, А. А. |