Фотокаталитическая литография с использованием пленок аморфного диоксида титана, содержащих ионы палладия

Abstract

Исследован механизм фотоактивирования тонких пленок аморфного гидратированного диоксида титана, содержащих ионы палладия, по отношению к реакции химического осаждения никеля. Показано, что результатом фотокаталитического восстановления ионов палладия при УФ-облучении является образование промежуточных состояний Pd(l), которые затем диспропорционируют с образованием палладиевой нанофазы. Катализируемое наночастицами палладия химическое осаждение никеля на экспонированных участках диоксид-титанового фотослоя позволяет получать металлические рисунки с разрешением 5 мкм, причем быстрый и необратимый захват фотоэлектронов на стадии формировании скрытого изображения предупреждает его растекание, в том числе и при использовании проводящих подложек.