Исследование структуры и химических связей в покрытиях на основе w, полученных на эластомере методом ионно-ассистированного осаждения

Abstract

в данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии был проведен анализ структуры и химический связей в покрытиях, полученных на эластомере ионноассистированным осажедения покрытий на основе W в условиях самооблучения. Плотность ионного тока составляла 4-5 мкА/см^2, интегральный поток облучающих ионов - 2*10^17 ион/см^2, ускоряющая разность потенциалов 20 кВ. Проведенные исследования позволили установить, что создаваемые покрытия содержат помимо металлического W, оксидные и карбидные фазы типа WC, WO2 и WO3, а также углерод в виде графита.