Состав и распределение элементов в каталитических покрытиях, сформированных ионно-ассистируемым осаждением иридия на стеклоуглерод

Abstract

Исследованы элементный состав каталитических покрытий, сформированных ионно-ассистируемым осаждением иридия на стеклоуглерод, и распределение элементов, входящих в состав покрытий, по площади поверхности и толщине покрытий. Установлено, что при осаждении покрытий в предложенном режиме формируются аморфные покрытия толщиной -150 нм сложного состава, включающие наряду с осаждаемым металлом кислород и материал подложки. Атомы элементов, входящих в состав покрытий, распределены по поверхности практически равномерно; наблюдается также осаждение из дугового разряда капель металла размером примерно 1 мкм, покрывающих менее 1% площади