Определение остаточных напряжений в поликристаллических покрытиях с использованием модифицированного sin2 метода

Abstract

Приведены методика и результаты измерения остаточных напряжений в Ti-Cr-N покрытии толщиной 1.2 мкм, сформированном на подложке из углеродистой стали СтЗ. Измерения проводились на дифрактометре D8 фирмы Bruker AXS в геометрии GIXRD при углах падения пучка 0.45, 0.9, 1.35, 1.85 и 2.3° относительно поверхности образца, что соответствует глубине зондирования 0.09, 0.179, 0.266, 0.361 и 0,445 мкм, соответственно. Расчет напряжений проводился с помощью модифицированного sin2 метода, с использованием данных по дифракции на нескольких {hkl} рефлексах. Зависимость напряжений в покрытии от глубины носит монотонный характер. Их значения изменялась в пределах от -6 до -6.8 ГПа.