Образование наночастиц золота на поверхности стекла при низкоэнергетическом ионном облучении

Abstract

В работе изучалась возможность образования наночастиц золота на поверхности кремне-содержащего слоя с небольшим количеством золота под действием низкознергетического ионного облучения в плазме тлеющего разряда. Тонкие пленки SiО2+Au на SiO2 подложке были получены с помощью осаждения ассистируемого ионным облучением (IBAD). Толщина пленок, а также процентное содержание золота измерялось с помощью спектрометрии Резерфордовского обратного рассеяния (POP). Образцы подвергались воздействию низкознергетических ионов остаточных газов воздуха в плазме тлеющего разряда. Энергия ионов зависела от напряжения в плазмогенераторе и не превышала 1,2 кэВ. Образование наночастиц золота после низкоэнергетического ионного облучения исследовалось с помощью спектрометрии оптического поглощения. Электромагнитная теория Ми, а также теория эффективной среды была использована для изучения среднего размера частиц.