Влияние у-радиации 60Со на межфазные взаимодействия в контактах Au-Ti-AI-Ti-n-GaN

Abstract

Рассмотрены радиационные эффекты в многослойной металлизации Au-Ti-AI-Ti-n-GaN при воздействии на исходные и подвергнутые кратковременному высокотемпературному отжигу в атмосфере азота контактные структуры облучения гамма-квантами 60Со до доз 4*10^8, 10^9 и 2*10^9 Р. Исходные контактные структуры в результате облучения не претерпевают существенных изменений при полном сохранении слоевой структуры металлизации. В результате отжига при 700 °С слоевая структура контакта разрушается из-за ускорения процессов взаимной диффузии на межфазных границах. Морфологические и структурные трансформации в контактной металлизации, стимулированные термоотжигом, усиливают при радиационных воздействиях массоперенос компонентов металлизации. При этом после облучения до дозы 210® Р титан и галлий обнаруживаются на поверхности металлизации, а кислород пронизывает всю контактную структуру и в значительном количестве наблюдается в приконтактном слое GaN. Отмечена корреляция удельного переходного сопротивления с радиационно-стимулированным массопереносом кислорода в приконтактный слой GaN.