Структурно-фазовое состояние и свойства пленок фуллерита, имплантированных ионами бора

Abstract

Методами атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции, наноиндентирования исследованы изменена структуры, фазового состава, электрических и механических свойств пленок фуллерита, имплантированных ионами B+ (Е 80 кэВ) до дозы 5*10^15 ион/см^2. Выявлено, что ионная имплантация приводит к аморфизации фуллерита, фрагментации части молекул С60, образованию карбидных фаз В4С1, В25С и, как следствие, к увеличению динамической нанотвердости пленок в 10 раз и уменьшению электросопротивления по сравнению с неимплантированными образцами.