Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223435| Заглавие документа: | Моделирование диффузии мышьяка в системе SiO2/Si при низкоэнергетической имплантации и коротком термическом отжиге |
| Авторы: | Величко, О. И. Заяц, Г. М. Комаров, А. Ф. Миронов, A. M. Цурко, В. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 96-98. |
| Аннотация: | Модель термической диффузии As строится с учетом нелинейности процесса, кластерообразования, влияния точечных дефектов. Решение построенных систем дифференциальных уравнений находится разностным методом. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223435 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.