Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223340Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Вечер, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Горушко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Сякерский, B. C. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-09T09:42:26Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-09T09:42:26Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 53-55. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-476-530-3 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223340 | - |
| dc.description.abstract | Изложены результаты использования лазерного излучения наносекундной длительности импульса в технологии создания сверхбольших интегральных схем. Показано, что в зависимости от режима обработки можно проводить как устранение механических нарушений кристаллической решетки кремния, так и создавать геттерирующий слой, обеспечивающий очистку кремния от примесных загрязнений. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Влияние лазерной обработки импульсами наносекундной длительности на поверхностные свойства кремния | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.