Browsing "2007. Взаимодействие излучений с твердым телом" by Author Михалкович, О. М.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2007 | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий | Ташлыков, И. С.; Барайшук, С. М.; Михалкович, О. М. |