Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215218Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гайдук, П. И. | |
| dc.contributor.author | Прокопьев, С. Л. | |
| dc.date.accessioned | 2019-02-21T13:28:16Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-21T13:28:16Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 149-153. | |
| dc.identifier.isbn | 978-985-566-671-5 | |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215218 | - |
| dc.description | Дефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках | |
| dc.description.abstract | В настоящей работе представлены результаты исследования газочувствительных свойств нанокомпозитных слоев SnO2/Ag, осажденных магнетронным методом с последующим импульсным лазерным облучением с плотностью энергии W = 2–2,5 Дж/см2. Чувствительность слоев SnO2/Ag к CH4 с концентрацией 2000–20000 ppm в воздухе исследовалась по измерению сопротивления (SR) при T = 200–360 °C. Показано, что ИЛО приводит к увеличению чувствительности нанокомпозитных слоев SnO2/Ag к CH4 до 20 %. | |
| dc.description.sponsorship | Исследования выполнены в рамках проекта 3.2.03 ГПНИ «Фотоника, опто- и микроэлектроника», номер госрегистрации 20162098. Авторы выражают благодарность ведущему научному сотруднику НИЛ «Материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники» Г.Д. Ивлеву за помощь в проведении импульсного лазерного облучения исследуемых структур. | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Минск : БГУ | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO2/Ag после импульсного лазерного облучения | |
| dc.title.alternative | Sensitivity of magnetron deposited and pulsed laser treated SnO2/Ag nanocomposite layers to methane / P. I. Gaiduk, S. L. Prakopyeu | |
| dc.type | conference paper | |
| dc.description.alternative | In this paper we report on the characterization of magnetron deposited nanocomposite SnO2/Ag gas sensing layers with subsequent pulsed laser annealing at energy density W = 2–2,5 Jcm-2 . The sensitivity of the layers with respect to 2000–20000 ppm CH4 in air was obtained from both resistivity (SR) measurements at 20–360 °C. As found, PLA results in up to 20 % increase of SnO2/Ag sensitivity to CH4. | |
| Располагается в коллекциях: | 2018. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 149-153.pdf | 683,65 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.