Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212527| Заглавие документа: | Технология производства интегральных микросхем. УД-3451/уч. |
| Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издатель: | Физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. |
| Аннотация: | Программа учебной дисциплины «Технология производства интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 07-02 физика наноматериалов и нанотехнологий. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212527 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Пилипенко В.А. Технология производства ИМС.pdf | 415,27 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.