Основы физики и технологии полупроводниковых материалов и приборов. № УД-5148/уч.

Abstract

Программа учебной дисциплины «Основы физики и технологии полупроводниковых материалов и приборов» разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям) направления специализации 1-31 04 01-02 17 Физика (производственная деятельность). В данном курсе рассмотрены физические принципы и явления, лежащие в основе современных технологий, применяемых в микроэлектронике, как наиболее наукоемкой отрасли производства. Рассматриваются основные технологии изготовления дискретных полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Особое внимание уделено физическим процессам, протекающим в базовых элементах полупроводниковых приборов, механизмам прохождения тока в барьерных структурах, конструкции и принципу действия различных полупроводниковых приборов. Анализируются основные закономерности зависимости эксплуатационных параметров приборов от свойств используемых материалов и технологии изготовления.