Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/210954
Заглавие документа: | Разработка метода высоколокального элементного анализа при атмосферном давлении и физико-технологических режимов трековой нанолитографии на структурах Al2O3/SiO2/Si и Al2O3/Si3N4/Si. Подпрограмма «Наноматериалы и нанотехнологии». ГПНИ «Функциональные и композиционные материалы, наноматериалы» на 2014-2015 гг. : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ф. Ф. Комаров |
Авторы: | Комаров, Ф. Ф. Камышан, А. С. Власукова, Л. А. Романовский, Д. В. Ювченко, В. Н. Дзираева, Ю. О. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
Дата публикации: | 2015 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектами исследования являлись структуры SiO2/Si и Si3N4/Si, облученные высокоэнергетическими тяжелыми ионами с различными Z, процесс прохождения ускоренных ионов через диэлектрические нанопористные мембраны, процесс ионной нанолитографии. Цель НИР - разработка физико-технологических режимов трековой проекционной нанолитографии на структурах Al2O3/SiO2/Si и Al2O3/Si3N4/Si. Методы исследования: электронная микроскопия, атомная силовая микроскопия, регистрация количества ионов, прошедших через капиллярные системы цилиндром Фарадея и подвижным полупроводниковым детектором. В результате выполнения работы: экспериментально и с помощью компьютерного моделирования трекообразования в SiO2 и Si3N4 для различных типов и энергий быстрых тяжелых ионов показано, что процесс трекообразования в Si3N4 требует значительно больших затрат энергии по сравнению с SiO2. Для SiO2, в зависимости от типа и энергии облучающих ионов, возможно прогнозирование размеров вытравливаемых пор. Впервые экспериментально показано, что для ионов азота коэффициент пропускания нанокапилляров в Al2O3 более чем на порядок превышает коэффициент пропускания ионов водорода и при энергии ионов 250 кэВ достигает 7 %. Экспериментально показана возможность проведения нанолитографии через маску из нанопористого Al2O3 с толщиной порядка 40 мкм. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/210954 |
Регистрационный номер: | Номер госрегистрации 20142751 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2015 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет Комаров 20142751.docx | 12,47 MB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.