Исследование металл-углеродных покрытий комбинационным рассеянием и атомно-силовой микроскопией

Abstract

C помощью атомно-силовой микроскопии и рамановской спектроскопии исследована морфология поверхности и соотношения sp2 и sp3 углеродных связей для двух типов металл-углеродных покрытий а -С:Н, Cu и а-С, (Cu, Ni, Zr). Показано, что внедрение металла приводит к росту шероховатости композитных покрытий увеличению доли sp3 углеродных связей по сравнению с а-Сu и а -С:Н плёнками. При синтезе а-С, Zr плёнок наблюдается необычная морфология поверхности плёнки и особое структурное состояние аморфного углерода, называемого как “ta -C”.