Фазово-структурный анализ (Zr-W)/Al структур, полученных методом ионно-ассистированного нанесения

Abstract

В данной работе с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии был проведен анализ химический связей в покрытиях, полученных на алюминии одновременным ионно-ассистированным нанесением Zr и W в условиях саморадиации. Плотность ионного тока составляла ~ 4-5 м кА /см 2, интегральный поток облучающих ионов - 2 10 17 ион/см-2, энергия ионов 20 кэВ. Проведенные исследования позволили установить, что создаваемые покрытия содержат помимо преципитатов Zr и W, оксидные и карбидные фазы типа WC , ZrC, ZrO2 и WO2, а также углерод в виде графита