Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208376
Title: Контроль процесса магнетронного осаждения пленок TiO2 c помощью малогабаритного спектрометра SL40-2
Other Titles: The magnetron process control of the TiO2 layers deposition with the assistance of the compact spectrometer SL40-2 / A. Burmakov, V. Chorny, V. Kuleshov
Authors: Бурмаков, А. П.
Кулешов, В. Н.
Чёрный, В. Е.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 337-339.
Abstract: Рассмотрены результаты исследования эмиссионного спектра плазмы магнетронного разряда в процессах нанесения пленок TiO2. Для исследований использован малогабаритный спектрометр модели SL40-2 с ПЗС-пинейкой 3648 пикселов и минимальным временем регистрации спектра 7 мс. Анализируются закономерности изменений в эмиссионных спектрах при изменении параметров проведения процесса и введении в рабочую газовую среду примесей воздуха, паров воды и паров масла. Рассмотрены возможности применения SL40-2 в составе системы управления расходом газов и одновременного контроля наличия примесей в рабочем газе. Определена величина минимального обнаружимого содержания примесей.
Abstract (in another language): The magnetron discharge emission spectrums in the process TiO2 film deposition have been considered. The compact spectrometer SL40-2 has been used for the research. The spectrometer has the CCD linear sensor with 3648 pixels. The minimal time of a spectrum registration by this spectrometer is 7 ms. The regularities of the emission spectrum changes have been analyzed when the process parameters were changed and the impurities (air, water vapor and oil vapor) were injected into the operating gaseous medium. The abilities of the SL40-2 application as the part of the gas flow control system and for the simultaneous monitoring of the impurity presence in the operating gas have been considered. The values of the minimal detectable impurity content have been determined.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208376
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
337-339.pdf2,96 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.