Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208235
Title: Высокодозная имплантация ионов платины в медь
Other Titles: High dose implantation of platinum ions in copper / O.P. Kul’ment’eva, P.A. Pavlenko
Authors: Кульментьева, О. П.
Павленко, П. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 265-267.
Abstract: В работе представлены результаты исследований медных фолы после высокодозной имплантации (ВИ) ионов платины. C помощью растровой электронной микроскопии изучена морфология поверхности образцов, подвергнутых ВИ с различными дозами облучения. Показано изменение плотности материала образца и его электрических параметров в зависимости от дозы облучения. Рентгеновский микроанализ поверхности, с помощью волнового микроанализатора WDS-2, показал присутствие платины, концентрация которой составляла 1,2 вес.% при максимальной дозе облучения. Методом резерфордовского обратного рассеяния получены энергетические спектры, с помощью которых определены элементный состав поверхностного слоя и концентрационные профили распределения элементов по глубине. На основании проведенных исследований установлено, что в результате ВИ ионов платины в медной фольге происходят параллельно процесс распыления меди, внедрение платины на глубину свыше 0,1 мкм, формирование перемешанного слоя толщиной около 60 нм, состоящего из меди, платины и углерода.
Abstract (in another language): The results of studies of the copper foils after high dose implantation (HDI) of platinum ions are presented. Using the scanning electron microscopy, the morphology of the sample surfaces, which had been subjected to HDI of various irradiation dozes were investigated. It has been shown that the change in the sample material density as well as the electrical parameters depend on the irradiation doze. The surface microanalysis had been performed using the wave micro-analyzer WDS-2. Using the Rutherford backscattering method, the energy spectra had been obtained, which allowed us to measure the element profiles over the surface layer depth. It had been found that as a result of HDI of platinum ions in the copper foil, the sputtering of the thin surface copper layer occurred. Also we had observed the mixed layer containing the copper, the carbon, and the platinum elements to the depth not exceeding 0,1 µm.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208235
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
265-267.pdf3,13 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.