Высокодозная имплантация ионов платины в медь

Abstract

В работе представлены результаты исследований медных фолы после высокодозной имплантации (ВИ) ионов платины. C помощью растровой электронной микроскопии изучена морфология поверхности образцов, подвергнутых ВИ с различными дозами облучения. Показано изменение плотности материала образца и его электрических параметров в зависимости от дозы облучения. Рентгеновский микроанализ поверхности, с помощью волнового микроанализатора WDS-2, показал присутствие платины, концентрация которой составляла 1,2 вес.% при максимальной дозе облучения. Методом резерфордовского обратного рассеяния получены энергетические спектры, с помощью которых определены элементный состав поверхностного слоя и концентрационные профили распределения элементов по глубине. На основании проведенных исследований установлено, что в результате ВИ ионов платины в медной фольге происходят параллельно процесс распыления меди, внедрение платины на глубину свыше 0,1 мкм, формирование перемешанного слоя толщиной около 60 нм, состоящего из меди, платины и углерода.