Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/208228| Title: | Влияние ионной бомбардировки на механические свойства а-С:Н тонких пленок |
| Other Titles: | The effect of ion bombardment on the mechanical properties of a-C:H thin films / S.N. Dub, N.V. Novikov |
| Authors: | Дуб, С. Н. Новиков, Н. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 245-247. |
| Abstract: | Исследовано влияние давления в камере осаждения на механические свойства полимероподобных а-С:Н тонких пленок. Установлено, что при давлении в камере около 10 Topp происходило осаждение обычных полимероподобных а-С:Н пленок. Для таких пленок характерны низкая твердость и износостойкость, вязкоупругость. Уменьшение давления в камере осаждения вызывало резкое повышение твердости, модуля упругости и износостойкости полимероподобных а-C:H пленок. Улучшение механических свойств плазмополимерного покрытия при уменьшении давления в камере осаждения вызвано повышением энергии ионов, бомбардирующих поверхность растущей пленки. Упрочненные ионной бомбардировкой полимероподобные а-С:Н пленки по своим механическим свойствам занимают промежуточное положение между полимероподобными и алмазоподобными а-С:Н пленками. |
| Abstract (in another language): | Amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films were deposited on polymeric substrates by glow-discharge decomposition of butane. For a set of samples, produced at different pressures, such mechanical properties as nanohardness and wear resistance were investigated. It has been found that mechanical properties of a-C:H films are strongly dependent on the pressure in the reactor. At the pressure in the reactor of about 10 Torr1 the deposition of polymer-like a-C:H films occurs. Such films are characterized by low hardness and wear resistance and visco-elastic behaviour at indent reloading. At the reduction of the pressure in the reactor, the improvement of mechanical properties of polymer-like a-C:H films was observed due to an ion bombardment. Ion bombardment of the polymer (PET) surface with 150-keV C* ions has confirmed this assumption. The ion bombardment of the growing a-C:H film surface caused drastic increases of its hardness, value of elastic recovery of indent depth after unloading and wear resistance. Ion bombardment is a well-known method to improve mechanical properties of a polymer surface. But the thickness of a modified layer is usually much less than 1 micron. Ion bombarding during film deposition allows us to obtain ion-hardened polymer-like a-C:H films with a much higher thickness (> 4 micron). With respect to the mechanical properties, polymer-like a-C:H films hardened by ion bombardment occupy a position between polymer-like and diamond-like a-C:H films. A high wear resistance and adhesion to a polymeric substrate, as well as the possibility to be deposited on substrates with a large area at temperatures below 100 0C make polymer-like a- C:H films, hardened by ion bombardment, a promising protective coating for polymeric materials. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/208228 |
| ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
| Appears in Collections: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 245-247.pdf | 2,66 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.