Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208224
Title: Взаимодействие карбонилсодержащих негативных резистов c видимым и УФ излучением
Other Titles: The interaction of carbonyl-containing negative resist with visible and UV radiation / V.V.Griroryev, A.V.Pavlov
Authors: Григорьев, В. В.
Павлов, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 237-238.
Abstract: Синтезированы поликонденсационные смолы, содержащие карбонильные и гидроксильные группы в боковой цепи макромолекулы. Путем полимераналогичных превращений в состав макромолекул были введены дополнительные функциональные группы: азидные, халконовые, а также остатки непредельных карбоновых кислот. На базе полученных высокомолекулярных соединений разработаны негативные резистивные композиции. Для них определена светочуствительность к излучению в видимом диапазоне спектра (лампа ДРШ-250) с использованием как добавленного, так и внутреннего азидного сенсибилизатора. Рассчитана также чувствительность композиций к УФ излучению в области 220-280 нм. Для указанных резистов отработаны операции литографического процесса, включая травление различными способами. Методом электрографии определена дефектность слоев после проведения литографии.
Abstract (in another language): Polycondensates having carbonyl and phenolic hydroxyl groups were synthesized. Macromolecules with additional functional units, for example, azides, halcones and rests of somecarboxylic acids were prepared by polymer analogous transformations. On the basis of syntesized high-molecular compounds the negative resistive compositions were work out.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208224
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
237-238.pdf2,23 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.