Влияние режимов ионной имплантации на парамагнитные и электрические свойства полиимида

Abstract

Представлены результаты исследований парамагнитных и электрических свойств полиимида, облученного ионами Аг+ и Аі2+ энергиями 40 и 80 кэВ, соответственно, в широком интервале доз 2,5х1014-1,5х1017 см-2 при варьировании плотности ионного тока от 1 до 16 мкА/см2. Экспериментальные результаты указывают на тесную взаимосвязь параметров ЭПР сигналов имплантированного полимера с величиной его поверхностного сопротивления при различных режимах ионного облучения. Показано, что величина плотности ионного тока оказывает доминирующее влияние на формирующуюся в полимере карбонизированную фазу, ее последующую структурную перестройку при высоких дозах имплантации и обусловленное этим эффектом резкое увеличение проводимости модифицированного слоя.