Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/203897
Title: Легирование германия донорами в процессе низкотемпературной обработки в плазме водорода
Other Titles: Doping of germanium by donors due to low-temperature hydrogen plasma treatment / N.M.Kazuchits, V.V.Litvinov
Authors: Казючиц, Н. М.
Литвинов, В. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2001
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 79-81
Abstract: Методом сопротивления растеканию были исследованы гидрогенизированные кристаллы германия р- и п-типа проводимости с различным содержанием кислорода и легирующей примеси. Гидрогенизация осуществлялась путем обработки образцов в водородной плазме при постоянном токе разряда в диапазоне температур 200 - 350 °С. В приповерхностном слое обработанных в плазме кристаллов обнаружено ускоренное образование двух типов донорных центров. Предполагается, что, по крайней мере, один тип донорных центров - это кислородные термодоноры, которые образуются в обогащенных кислородом образцах по механизму радиационного ускорения.
Abstract (in another language): A spreading resistance probe analysis of hydrogen-plasma-treated crystals of germanium with different concentration of shallow dopants and oxygen has been presented. The samples were exposed to hydrogen plasma at the direct current within the temperature range of 200-350 °C. The hydrogen plasma exposure of germanium results in two types of donor centers into the surface crystal region with the thermal stability up to 450-500 °C. The appearance of p-n junctions was revealed in p-type germanium. The formation oxygen-related thermal donors is suggested to occur in dopant oxygen germanium under hydrogen plasma treatment.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/203897
ISBN: 985-445-236-0
Appears in Collections:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
79-81.pdf718,13 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.