Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/203840
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНургазизов, Н. И.-
dc.contributor.authorБухараев, А. А.-
dc.contributor.authorСтарков, В. В.-
dc.date.accessioned2018-08-22T06:25:04Z-
dc.date.available2018-08-22T06:25:04Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 47-48ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/203840-
dc.description.abstractВ работе описывается методика определения коэффициента распыления или степени распухания имплантированного слоя с помощью атомно-силового микроскопа. Измерения могут проводиться при дозе облучения свыше 10'® ион/см^. В работе приводятся результаты измерения коэффициента распыления, полученные для комбинаций ион-мишень: Ga*-Si, Аг'-ЗІОг, С'-Зібг.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleОпределение величины распыления или распухания имплантированного слоя с помощью атомно-силового микроскопаru
dc.title.alternativeMeasurements of sputtering and swelling of implanted layer with atomic force microscope / A.A.Bukharaev, N.I.Nurgazizov, V.V.Starkovru
dc.typeconference paperru
dc.description.alternativeIt was shown that AFM makes possible to with high-accuracy measurement of swelling and sputtering of silicon oxide implanted through a mask at a dose above 10^® ion/cm^. The sputtering coefficients for different ion-target combination (Ga*-SI, Ar'-SiOz, С'-ЗіОг) are presented.ru
Располагается в коллекциях:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
47-48.pdf511,22 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.