Просмотр "2001. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Комаров, А. Ф.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2001 | Формирование слоев Сх→зМу→4 методом высокодозной имплантации азота в систему Si3N4/C/Si3N4/Si | Комаров, А. Ф.; Пилько, В. В.; Никифоренко, Н. Н.; Емельянов, В. А.; Карват, Ч. |