Просмотр "Статьи сотрудников НИИ ПФП" Авторы Zhussupbekov, Kuanysh
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2023 | Effect of Rapid Thermal Annealing on Si-Based Dielectric Films Grown by ICP-CVD | Parkhomenko, Irina; Vlasukova, Liudmila; Komarov, Fadei; Kovalchuk, Nataliya; Demidovich, Sergey; Zhussupbekova, Ainur; Zhussupbekov, Kuanysh; Shvets, Igor V.; Milchanin, Oleg; Zhigulin, Dmitry; Romanov, Ivan |