Просмотр "Статьи сотрудников НИИ ПФП" Авторы Zhang, D.W.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2018 | Measurements of microstructural, chemical, optical, and electrical properties of silicon-oxygen-nitrogen films prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition | Ma, H.-P.; Lu, H.-L.; Yang, J.-H.; Li, X.-X.; Wang, T.; Huang, W.; Yuan, G.-J.; Komarov, F.F.; Zhang, D.W. |