Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем (05 01-01) (н-пр деят) УД-3987\уч

Abstract

Учебная дисциплина «Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем» предназначена для студентов химического факультета, обучающихся по специальности 1-31 05 01 «Химия (по направлениям)», направлению специальности 1-31 05 01-01«Химия (научно-производственная деятельность)» и является дисциплиной по выбору. Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.