Механические свойства покрытий AlSiN после термического отжига в вакууме

Abstract

В работе представлены результаты исследования морфологии поверхности, микротвердости и модуля упругости AlSiN пленок толщиной 300 нм в исходном состоянии и после термического отжига при температурах 600-900°С в вакууме. Покрытия AlSiN были сформированы магнетронным распылением с нанокристаллической (6 ат. % Si) и аморфной (30 ат.% Si) структурой. Наноиндентированием (НИ) установлено, что и нанокристаллические, и аморфные пленки AlSiN сохраняют свои свойства практически на исходном уровне, при этом аморфные пленки демонстрируют большую стабильность механических свойств = The results of the morphology, microhardness and elastic modulus study in the AlSiN films with 300 nm thick in the initial state and after vacuum annealing at 400 – 900 °C are presented. The AlSiN coatings were formed by magnetron sputtering with nanocrystalline (6 at. % Si) and amorphous (30 at. % Si) structures. It is established with nanoindentation (NI) that both nano-crystalline and amorphous AlSiN films retain their properties practically at the initial level, with amorphous films exhibiting greater stability of mechanical properties