Модификация структурно-фазового состояния и механических свойств пленок Ti-C60-Ti, имплантированных ионами бора

Abstract

Методами атомно-силовой микроскопии, рентгенофазового анализа и наноиндентирования изучались изменения структуры, фазового состава и механических свойств имплантированных ионами В+ (Е = 80 кэВ, Ф = 1·1016 ион/см2) пленок Ti-C60-Ti после отжига в вакууме при Т = 570 К (t = 3 ч). Установлено, что термический отжиг приводит к рекристаллизации фуллеритовой фазы, росту новой фазы TixC60 с улучшенными механическими свойствами = Methods of atomic force microscopy, X-ray diffraction, and nanoindentation were studied changes of structure, phase condition and mechanical properties of implanted with boron ions (E= 80 keV, D= 1·1016 ions/sm2) titanium-fullerite-titanium films after post-implantation annealing at Т = 570 K (t = 3 h). Thermal annealing of three-layered Ti-C60-Ti films results the recrystallization of the fullerite phase and formation of new TixC60 phase with the improved mechanical properties