Осаждение в СВЧ-плазме микро- и нанокристаллических алмазных покрытий на резцах из твердого сплава

Abstract

Осаждением в сверхвысокочастотной плазме из смесей метан-водород и метан-водород-азот получены одно- и многослойные микро- и нанокристаллические алмазные покрытия (АП) на резцах из твердого сплава ВК6. Для улучшения адгезии и блокирования диффузии кобальта из подложки при осаждении применялись многослойные и градиентные буферные слои из вольфрама и тяжелых металлов, осажденные в СВЧ плазме слои карбида кремния, а также имплантация ионов титана. По результатам испытаний механических и теплофизических свойств АП на ВК6 определены оптимальные технологические режимы модификации свойств подложки и осаждения АП = Single- and multilayered micro- and nanocrystalline diamond coatings (DC) were deposited in microwave plasma from mixtures of methane-hydrogen and methane-hydrogen-nitrogen on WC-6%Co substrates. To improve adhesion and block the diffusion of cobalt from the substrate, multilayer and gradient buffer layers from tungsten and heavy metals, deposited in microwave plasma silicon carbide layers, and implantation of titanium ions were used., The optimal technological regimes for modifying substrate properties and deposition of DC are determined based on the results of tests of mechanical and thermophysical properties of DC on WC-6%Co substrates