Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182287
Заглавие документа: | Структура и трибологические свойства покрытий AlSiN после термического отжига на воздухе |
Другое заглавие: | Structure and tribological properties of AlSiN coatings after air annealing / V.I. Shymanski, V.V. Uglov, N.T. Kvasov, T.A. Kuznetsova, N.A. Kananovich |
Авторы: | Шиманский, В. И. Квасов, Н. Т. Кузнецова, Т. А. Кананович, Н. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 420-422. |
Аннотация: | В работе представлены результаты исследования изменения структурно-фазового состояния AlSiN пленок после термического отжига при температурах 400 – 900°С на воздухе. С помощью магнетронного распыления были сформированы покрытия AlSiN с нанокристаллической (6 ат. % Si) и аморфной (30 ат. % Si) структурой. Отжиг нанокристаллических покрытий при температурах от 400 до 900 °С приводит к формированию оксида кремния SiO2, а при температуре 800 °С начинает формироваться оксид алюминия Al2O3. В случае термического воздействия на AlSiN пленки с аморфной структурой изменения их структурно-фазового состояния не выявлено. Формирование оксидных фаз в нанокристаллических покрытиях AlSiN позволяет уменьшить их коэффициент трения от 0.5 – 0.6 до 0.2 – 0.3 = The results of structure and phase composition changes in the AlSiN coatings after air annealing at 400 – 900°C are presented. The AlSiN coatings were formed by magnetron sputtering with nanocrystalline (6 at. % Si) and amorphous (30 at. % Si) structures. Air annealing of the nanocrystalline AlSiN coatings at the temperatures of 400 – 900°C results in SiO2 oxide formation and Al2O3 oxide growth at 800°C. The thermal influence on the amorphous AlSiN films does not change its phase composition. The oside phases formation provides the friction coefficient decrease from 0.5 – 0.6 to 0.2 – 0.3 |
Доп. сведения: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182287 |
ISBN: | 978-985-553-446-5 |
Располагается в коллекциях: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
420-422.pdf | 379,74 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.