Магнетронно-лазерное осаждение наночастиц титана и серебра в пленочной матрице оксида титана

Abstract

Рассматривается методика комбинированного магнетронно-лазерного формирования покрытий, представляющих собой массив наноразмерных металлических частиц, распределенных в твердотельной оксидной диэлектрической матрице. На примере частиц Ti и Ag в матрице TiO2 определены условия реализации методики. Проводится сравнение поглощения и пропускания двух вариантов формирования структуры Ag в TiO2. Для одного из вариантов структуры Ag в TiO2 обнаружена полоса поглощения в видимой области с высокой оптической плотностью, обусловленная поверхностным плазмонным резонансом = The technique of the combined magnetron-laser deposition of coatings is considered. The coatings contain the array of metal nanoparticles distributed in the solid-state oxide dielectric die. The conditions of the technique realization were determined for Ti and Ag particles in TiO2 die. Absorption and transmittance were compared for two variants of Ag in TiO2 structure. The absorption band was found in the visible spectrum for one variant of Ag in TiO2 structure. The surface plasmon resonance caused the high optical density in the absorption band