Модификация свойств поверхности металлов и сплавов с применением комбинированного ионно-плазменного оборудования и многокомпонентных СВС-катодов

Abstract

Отражены функциональные особенности комбинированной установки «Композит-3», содержащей в рабочей камере три типа ионно-плазменных источников: дуомагнетрон с двумя распыляемыми мишенями, два электродуговых испарителя и газовый плазмогенератор с накаливаемым катодом. Технологические возможности установки расширены за счет доукомплектования ее многокомпонентными катодами, изготавливаемыми методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). Совокупность указанных аппаратурно-комплектующих элементов позволяет модифицировать свойства поверхностей металлов и сплавов разнообразными методами: ионно-плазменным травлением и очисткой, ионно-плазменным многокомпонентным легированием, азотированием, магнетронным и вакуумно-дуговым нанесением покрытий. При этом возможно осуществлять комбинацию разных методов в едином вакуумно-технологическом цикле, что позволяет формировать градиентно-слоистые структуры поверхностных слоев с заданными функциональными свойствами = The functional features of the hybrid facility KOMPOSIT-3, containing three types if ion-plasma sources in the working chamber (duomagnetron with two planar sputter targets, two electric arc evaporators and plasma generator «PINK») are described. The technological capabilities of the facility are expanded by the addition of multicomponent cathodes produced by the self-propagating high-temperature synthesis (SHS). The combination of this technological device allows us to modify the properties of the surfaces of metals and alloys by various methods: ion-plasma etching and cleaning, ion-plasma doping, nitriding, magnetron and vacuum arc coating. In this case, it is possible to combine different methods in a single vacuum-technological cycle, which makes it possible to form gradient-layered structures of surface layers with predetermined functional properties