Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. НИУ "Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко"
  3. Материалы конференций и семинаров НИИ ПФП
  4. 2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/178737
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorРоманов, И. А.
dc.contributor.authorКлимович, И. М.
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.
dc.contributor.authorЗайков, В. А.
dc.contributor.authorПархоменко, И. Н.
dc.contributor.authorКрекотень, Н. А.
dc.date.accessioned2017-08-16T11:22:12Z-
dc.date.available2017-08-16T11:22:12Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.citationПрикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 284-286.
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/178737-
dc.descriptionСекция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
dc.description.abstractВ работе представлены результаты исследований оптических свойств пленок нитрида кремния нестехиометрического состава, полученных методом реактивного магнетронного распыления в импульсном режиме высокой мощности при постоянном токе разряда равном 1,5 А. Установлено, что увеличение парциального давления азота приводит к уменьшению показателя преломления и скорости осаждения нитридного слоя. Полученные пленки обладают фотолюминесценцией в широкой области видимого спектра с максимумом в диапазоне 450 - 500 нм
dc.language.isoru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleОптические свойства пленок нитрида кремния, полученных методом реактивного магнетронного распыления
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
284-286.pdf421,53 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.