Источник ионов алюминия с регулируемой энергией ионов

Abstract

Эксперименты показали, что в эрозионном лазерном факеле алюминиевой мишени в вакууме формируется двойной электрический слой. Эрозионный лазерный факел формировался при облучении мишени импульсами YAG:Nd3+ лазера с длиной волны λ = 1064 nm длительностью импульса τ = 20 ns. В эксперименте использовались две управляющие сетки. С помощью величины потенциала первой сетки можно регулировать соотношение электронов и ионов, попадающих на подложку. Найден отрицательный потенциал сетки по отношению к мишени (-30 В), при котором на подложку поступают только ионы. Используя вторую сетку можно управлять энергией ионов, а также плотностью потока ионного тока на подложке