Просмотр "2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния" Авторы Батулев, А. А.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2017 | Влияние температуры на структуру слоев SiC, сформированных при отжиге кремниевых пластин в вакууме | Батулев, А. А.; Лобанок, М. В.; Прокопьев, С. Л.; Новиков, А. Г.; Мильчанин, О. В.; Гайдук, П. И. |