Новые углеродные материалы на основе монокристаллов синтетического алмаза и алмазоподобных пленок для микроэлек­троники

Abstract

The large high-quality synthesis technology of diamond is developed. These monocrystals can be considered as a base material for a creation of various electronic devices. Diamond-like carbon coatings are experimentally produced by method of laser deposition on different materials (metal, dielectric and semiconductor). This method of the films deposition on a surface of sawing disks, previously charging by an ultrasound, allows producing the tool with higher operational characteristics. = В БГУ созданы технология и соответствующее производство для синтеза крупных высококачественных монокристаллов алмаза, которые могут рассматриваться как база для создания раз­личных электронных устройств на алмазе. Благодаря высокой степени структурного совершенст­ва данные кристаллы могут также использоваться для изготовления ориентированных алмазных подложек, на которых можно производить наращивание гомоэпитаксиальных алмазных пленок. Синтез таких пленок рассматривается в настоящее время как одно из наиболее перспективных направлений развития алмазной электроники. Разработаны технология и оборудование для лазерно­го нанесения алмазоподобных пленок на различные материалы. Развитие данной технологии, осо­бенно в области наращивания гомоэпитаксиальных алмазных пленок на высококачественных алмазных подложках, является перспективным направлением расширения элементной базы ал­мазной электроники.