Физика тонких пленок и малых частиц. № УД-3434/уч.

Abstract

Учебная программа дисциплины специализации «Физика тонких пленок и малых частиц» разработана для студентов специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника» специализации 1-31 04 03 03 «Наноэлектроника и нанотехнологии» в соответствии с требованиями Образовательного стандарта по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника» ОСВО 1-31 04 03 -2013 и учебного плана Белорусского государственного университета по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». Цель дисциплины состоит в формировании у студентов систематизированных знаний и практических навыков в изучении теоретических и практических вопросов формирования диспергированных наноразмерных и сплошных тонких пленок, взаимосвязи параметров и свойств пленок с условиями их формирования. Рассматриваются также наиболее перспективные вакуумно-плазменные технологии нанесения тонкопленочных покрытий различного назначения, включая методы оперативного контроля основных параметров пленок.