Технологии СБИС и УБИС. №УД-3371/уч.

Abstract

Учебная программа «Технологии СБИС и УБИС» разработана для студентов специальности 1-31 04 03 Физическая электроника специализации 1-31 04 03 01 Твердотельная электроника в соответствии с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника» ОСВО 1-31 04 03-2013 и учебного плана Белорусского государственного университета по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». Целью изучения дисциплины является формирование у студентов систематизированных физических знаний и инженерных навыков, необходимых для специалистов в области полупроводниковой микро- и наноэлектроники, выработка системного подхода при проектировании элементной базы изделий микро-, опто- и наноэлектроники, при составлении технологических маршрутов изготовления изделий электроники и моделировании отдельных операций техпроцесса.