Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/160509
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБурмаков, А. П.-
dc.contributor.authorКулешов, В. Н.-
dc.contributor.authorСтоляров, А. В.-
dc.date.accessioned2016-11-08T10:10:32Z-
dc.date.available2016-11-08T10:10:32Z-
dc.date.issued2016-10-25-
dc.identifier.isbn978-985-566-369-1-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/160509-
dc.description.abstractНа факультете радиофизики и компьютерных технологий БГУ разработана система управления процессом реактивного магнетронного распыления. Задача этой разработки – упростить создание систем управления процессом реактивного магнетронного распыления.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск: БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ОБЩЕСТВЕННЫЕ НАУКИ::Информатикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ОБЩЕСТВЕННЫЕ НАУКИ::Информатикаru
dc.titleСистема управления газовым напуском для магнетронных технологий нанесения пленочных покрытийru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:Секция 9. КОМПЬЮТЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Бурмаков_Кулешов_Столяров.pdf388,07 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.