Logo BSU

Поиск


Текущие фильтры:

Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-10 из 66.
Найденные документы:
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2020Радиационно-стимулированная трансформация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмыХарченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.
2020ЭПР спектроскопия имплантированных ионами Р+ и B+ пленок диазохинон-новолачного фоторезистаБринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Олешкевич, А. Н.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.
2020Электронная проводимость в имплантированном ионами Р+ позитивном фоторезистеОлешкевич, А. Н.; Лапчук, Н. М.; Оджаев, В. Б.; Карпович, И. А.; Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.
2012УПРОЧНЕНИЕ КРЕМНИЯ ВБЛИЗИ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА SIO2/SIБринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Простомолотов, А. И.
2013Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.
2010ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННОГО Si:GeБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Петров, В. В.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.
2010СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНОЙ И ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИЕЙБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.
2013Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.
2014Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н.
2014Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.