Logo BSU

Поиск


Текущие фильтры:

Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-10 из 11.
Найденные документы:
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2020Радиационно-стимулированная трансформация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмыХарченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.
2020ЭПР спектроскопия имплантированных ионами Р+ и B+ пленок диазохинон-новолачного фоторезистаБринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Олешкевич, А. Н.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.
2020Электронная проводимость в имплантированном ионами Р+ позитивном фоторезистеОлешкевич, А. Н.; Лапчук, Н. М.; Оджаев, В. Б.; Карпович, И. А.; Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.
2019Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнииПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Гринюк, Е. В.; Янковский, Ю. Н.
2020Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами сурьмыБринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2019Модификация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионами Бора и ФосфораБринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Бринкевич, С. Д.; Янковский, Ю. Н.
2020Радиационно-стимулированная трансформация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмыХарченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.; Оджаев, В. Б.; Янковский, В. Н.
2019Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнииПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Гринюк, Е. В.; Янковский, Ю. Н.
2020Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами бора и фосфораВабищевич, С. А.; Бринкевич, С. Д.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
ноя-2023Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографииБринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б.