Ионно-фотонные процессы в радиоэлектронике. № УД-2459/уч.

Abstract

Учебная программа «Ионно-фотонные процессы в наноэлектронике» разработана для студентов специальности 1-31 04 03 Физическая электроника специализации 1-31 04 03 03 Наноэлектроника и нанотехнологии в соответствии с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника» ОСВО 1-31 04 03-2013 и учебного плана Белорусского государственного университета по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». Целью изучения дисциплины является выработка у студентов физического и инженерного профиля системного подхода при проектировании элементной базы изделий наноэлектроники, наносенсорики, при составлении технологических маршрутов изготовления изделий электроники и моделировании отдельных операций техпроцесса. Основная задача дисциплины состоит в том, чтобы обеспечить глубокую подготовку студентов в области физики взаимодействия ионных и фотонных пучков с материалами электронной техники, адаптации физических закономерностей к задачам наноэлектроники, а также выработать у студентов навыки решения практических задач в области ионно-лучевого легирования материалов электроники. Для успешного усвоения дисциплины необходимы знания по общей физике, физике полупроводников и полупроводниковых приборов, физике твердого тела, программированию.