Измерения параметров полупроводниковых структур № УД-2424/уч.

Abstract

Программа учебной дисциплины «Измерение параметров полупроводниковых структур» разработана для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (направление 1-31 04 01-07 физика наноматериалов и нанотехнологий, специализация 1-31 04 01-07 02 «Наноэлектроника»). Целью данной программы является ознакомление студентов с основами теории и практики контроля материалов и полупроводниковых структур при создании интегральных микросхем (ИМС). Основные задачи учебной дисциплины — дать необходимые количественные и качественные оценки результатов, получаемых при использовании оптических и электрофизических методов контроля полупроводниковых структур, методов анализа атомной структуры, химического состава и электронных свойств различных материалов, применяемых в производстве изделий электронной техники. Соответственно, курс призван максимально широко представить аппаратуру современных методов контроля материалов электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых ИМС, а также приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике.